Lijn voor het anodiseren van zwavelzuur met een zuiver onderdeel van halfgeleiderkwaliteit voor aluminiumsubstraten van hoge zuiverheid

Deze volledig automatische anodiseringslijn met zwavelzuur is uitsluitend ontworpen voor aluminium halfgeleidercomponenten van hoge zuiverheid.Het produceert een uniforme 8-15 μm natuurlijke heldere oxidefilm zonder verontreiniging door metaalsaltenverfDe lijn ondersteunt het dichtmaken met warm water of het dichtmaken zonder nikkel bij middelmatige temperatuur om te voldoen aan de strenge eisen inzake halfgeleiderreinheid en uitgassing.

1. Ontvetten (schoon ontvetten met weinig oppervlakteactieve stoffen)
2. Meervoudig spoelen met zuiver water
3. Een milde ontmetting
4. Anodisatie met zwavelzuur van hoge zuiverheid
5. Doorlopend spoelen met ultrazuiver water
6. Afdichting: afdichting met warm water / afdichting zonder nikkel bij middelmatige temperatuur
7. Eindspoelen met zuiver water
8. Gecontroleerd laagtemperatuurdrogen

• Volledig automatische loopmodus zorgt voor een consistente filmdikte binnen 8-15 μm in alle partijen
• Metalen zoutverf wordt geëlimineerd om ionenvervuiling te voorkomen die de prestaties van de halfgeleider beïnvloedt
• Ondersteunt nikkelvrije afdichtingsoplossingen die voldoen aan de milieunormen en uitgassingsnormen van de halfgeleiderindustrie
• Uitgerust met continu filtratie met hoge precisie en ultrazuivere watervoorziening om de schoonheid van het bad te behouden
• Strikt gecontroleerde spoelkaskades minimaliseren residuen van zuur en het overbrengen van vreemde deeltjes

• Voorbehandelingstankgroep
• Anodiserende tank met zwavelzuur van hoge zuiverheid
• Meerstadium UPW spoelsysteem
• Verzegelbak (warm water/nikkelvrij middeltemperatuurverzegeling)
• gelijkstroom-anodiserende rechtgever
• High-precision circulatiefiltersysteem
• Schoon lage temperatuur droogoven
• Eenheid voor de behandeling van afvalgassen en afvalwateren
• PLC automatische portierkraan en centraal besturingssysteem

Metalen ionen van kleurstoffen kunnen in de oxidefilm blijven, waardoor ionenmigratie, verontreiniging en betrouwbaarheidsrisico's voor halfgeleiderassemblages ontstaan.

Het middeltemperatuur-nikkelvrij afdichten vermijdt restanten van nikkel-ionen en voldoet aan de halfgeleidervereisten voor lage uitgassing en zware metaalvrije oppervlakken.

De hoofdconfiguratie is volledig automatisch voor massaproductie; een semi-automatische/handmatige reinigingsmodule kan als optionele upgrade worden geleverd voor bemonsteringsorders.